我执可以说是无明的同义语，一般以内容分类，为人我执、法我执;以缘起分类，名分别我执、俱生我执。《成唯识论》卷五：“补特伽罗我见起位，彼法我见必现前。我执必依法执。”又《成唯识论掌中枢要》：“有法不带人，人用必带体。人执定有法。”即法执迷于诸法的体，我执迷于诸法的用。

我执在小乘部派佛教里有各种说法。有部设人我、法我二我，否定作为个体生命的我(人我)，但认为有构成存在要素的实体的我(法我)。犊子部、正量部等认为有一种非即非离蕴的我，这种我既非带有五蕴假合而成的个体(蕴)，也非五蕴以外称为我的(离蕴)，而是同五蕴非即非离的我。经量部又有胜义补特伽罗之说。《成唯识论》卷一把佛教以外以及部派佛教里的各种我的说法分成三类：即蕴我(世间一般说法)，离蕴我(数论、胜论、经量部等)，非即非离蕴我(犊子部、正量部等)，并一一予以破斥。

人我执：一切凡夫，不知人身为五蕴假合，而有见闻觉知之作用，固执此中有常一主宰之我体，一切烦恼障由此而生，便有贪嗔痴等诸惑，发业润生而缠缚有情于三界六道之中，障涅盘寂静之理，搅扰有情之身心。如《唯识述记》云：“烦恼障品类众多，我执为根，生诸烦恼，若不执我，无烦恼故。”

法我执：一切凡夫，不了诸法空性，不明五蕴等法由因缘而生，如幻如化，固执法有实性，一切所知障由此而生。《起信论》云：“人我见者，计有总相主宰，法我见者，计一切法各有体性。”《唯识论》云：“由执我法，二障俱生。”

分别我执：为后天我执，依自己分别力或邪师所教而生者。菩萨于通达位，正发根本无分别智时断之。

俱生我执：为先天随生具有之我执，为吾人过去世之业习。菩萨于修道位，数数修习无分别智，渐断之。此我执者，任何世彰漏之智不能伏灭，唯三乘无漏圣道的观智(指根本智及后得无漏智现行时)才能伏灭，就是把人我执返于“人空智”，法我执返于“法空智”。伏灭人我执，二乘在见道位以上，顿悟菩萨在初地以上，渐悟菩萨在回心以后的生空无漏位;伏灭法我执，是菩萨初地以上的法空无漏位(见《唯识论讲话》)。二乘之人虽断人我执，证得人空，而不断法我执，如《菩提心论》曰：二乘之人虽破人执，犹有法执。